论文部分内容阅读
微机电系统(Micro-electro-mechanical system,MEMS)具有尺寸小、集成度高、耗能小、可大规模生产、工艺多样化、精度高等优点,因此被广泛应用在汽车、航空航天、医学、通信、环境等领域。基于MEMS技术,设计、加工了一种在透射电子显微镜(TEM)中可以原位观测微/纳米线、带、纤维和薄膜样品的高温力学性能和显微结构演化的一体化实验平台。该一体化平台选用顶层厚度为60μm的绝缘体硅片(Silicon-on-insulator,SOI)作为基底,选用Pt作为电阻加热材料,Au作为