微波表面阻抗是超导薄膜一个重要的特性参数，它不仅反映了超导薄膜的损耗，还可以得到磁穿透深度和超导能隙的有关信息，在超导物理和超导薄膜的电子学应用上都有重要的意义。　　镜像型蓝宝石介质谐振器法是利用TE01δ模式的蓝宝石介质谐振器测量超导薄膜的微波表面阻抗。该方法通过测量加载超导薄膜后介质谐振腔的固有品质因数和谐振频率随温度的变化来确定超导薄膜的微波表面阻抗。这种方法能够对单片超导薄膜进行无损测量，并且能较准确地测量出超导薄膜的微波表面阻抗。　　本文制作了一个工作在18.3GHz附近的蓝宝石介质谐振腔，构建了测试系统。利用该测试系统对超导薄膜的微波表面阻抗进行测试，它具有灵敏度高，重复性好，对薄膜无损伤等特点，提高了介质谐振器法测量超导薄膜微波表面阻抗的准确度和精度。