PZT薄膜晶化动力学过程研究

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【摘要】

：

锆钛酸铅(PZT)作为一种典型的钙钛矿结构铁电材料,具有突出的介电、压电和铁电性质。由于其在微传感器、微执行器等微电子机械系统(MEMS)和非易失性存储器(NVFRAM)中的广阔应用前景,硅基PZT 薄膜已经成为国内外微电子学和材料科学的研究热点。本论文基于薄膜成核生长的基本原理,围绕退火晶化工艺对PZT 薄膜结晶品质、微结构以及电性能的影响进行了深入系统的分析。首先, 采用磁控射频溅射在Pt/T

【作者】

：

黄文

【机构】

：

电子科技大学

【发表日期】

：

2005年04期

【关键词】

：

PZT 薄膜晶化处理快速退火(RTA) 取向生长铁电电畴

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