三维微触觉测头校准装置的研究

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随着微纳米结构尺寸的覆盖性不断扩大,复杂性不断增强,提出的测量要求已不是目前的微纳米测量技术所能够满足的,因此,研究和开发新型测量装置和测量方法是解决现今微纳米尺寸测量领域的测试需求的重要手段。为此,本文基于课题组所在实验室具备的纳米坐标测量系统,自行研发了一种微触觉测头及其相应的测试、校准系统。本文的主要研究工作如下:1)通过电容传感器的性能仿真及测量原理的分析,确定MEMS电容传感器的结构,然后通过微加工工艺制备完成,并对制备完成的电容传感器进行封装及测杆连接,完成测头的装配。2
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