【摘 要】
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随着微纳米结构尺寸的覆盖性不断扩大,复杂性不断增强,提出的测量要求已不是目前的微纳米测量技术所能够满足的,因此,研究和开发新型测量装置和测量方法是解决现今微纳米尺寸测量领域的测试需求的重要手段。为此,本文基于课题组所在实验室具备的纳米坐标测量系统,自行研发了一种微触觉测头及其相应的测试、校准系统。本文的主要研究工作如下:1)通过电容传感器的性能仿真及测量原理的分析,确定MEMS电容传感器的结构,然
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随着微纳米结构尺寸的覆盖性不断扩大,复杂性不断增强,提出的测量要求已不是目前的微纳米测量技术所能够满足的,因此,研究和开发新型测量装置和测量方法是解决现今微纳米尺寸测量领域的测试需求的重要手段。为此,本文基于课题组所在实验室具备的纳米坐标测量系统,自行研发了一种微触觉测头及其相应的测试、校准系统。本文的主要研究工作如下:1)通过电容传感器的性能仿真及测量原理的分析,确定MEMS电容传感器的结构,然后通过微加工工艺制备完成,并对制备完成的电容传感器进行封装及测杆连接,完成测头的装配。2
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微创技术是医疗手术领域的一次革命性创新,他突破了传统开放性的手术模式,一方面使手术的精度和可靠性得到巨大的提高,另一方面最大程度上减轻了患者的痛苦及手术可能带来的副作用;腹腔镜机器人作为微创手术中的典型设备,已经成为现代医疗设备发展的一大课题。本文是在前期已完成的腹腔镜持镜手臂机械结构设计及优化基础上,对后期的持镜手臂外壳进行进一步的设计补充。文章将外观造型设计方法论中的人机工程学、材料学、色彩学
管线是人们生活中必不可少的基础设施之一,城市和企业中,管线的布局相当复杂。随着经济和社会的发展,管线的布设越来越多。然而,随着管线的增多,对它的管理就成了难题。本文介绍了管线在人们生活中的重要作用,分析了管线管理中出现的问题;结合管线管理系统的研究现状,分析了现有的管线管理系统中存在的问题,以及管线三维可视化管理系统中的拓扑分析功能的重要性。本文针对管线三维可视化管理系统中的拓扑分析功能做了深入的
科里奥利质量流量计(Coriolis Mass Flowmeter,简称CMF)能直接测量流体的质量,鉴于其精度高、应用性广等优点,已经在工业领域中获得了广泛的应用。但是随着科技的不断进步,传统的测量及模拟信号处理方法已显现出许多缺点,已无法满足人们的需求,因此我们采用数字信号处理的方法来处理流量计的信号。本课题采用DSP芯片作为数字信号处理的CPU,结合快速傅里叶变换(Fast Fourier
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