【摘 要】
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随着超大规模集成技术的发展,为了满足芯片尺寸的日益缩小,193 nm光阻被广泛采用。由于193nm光阻的结构,其光阻的图形在绝缘体刻蚀中不容易保持完整,表面粗糙,条纹现象也比较明显。本文首先对193nm和其他波长光阻的成分,特性的不同进行了分析,然后分别针对紫外光,中性粒子,激进反应性离子团和纯物理性离子轰击对193nm光阻的影响进行了试验研究,发现是绝缘体刻蚀中的离子轰击和化学反应的共同影响造成
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随着超大规模集成技术的发展,为了满足芯片尺寸的日益缩小,193 nm光阻被广泛采用。由于193nm光阻的结构,其光阻的图形在绝缘体刻蚀中不容易保持完整,表面粗糙,条纹现象也比较明显。本文首先对193nm和其他波长光阻的成分,特性的不同进行了分析,然后分别针对紫外光,中性粒子,激进反应性离子团和纯物理性离子轰击对193nm光阻的影响进行了试验研究,发现是绝缘体刻蚀中的离子轰击和化学反应的共同影响造成光阻产生了问题,然后针对这些影响因素,对刻蚀中的工艺参数(功率,频率比,气体比,流量,压力,温度和增加氢
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开关磁阻电机调速系统(Switched Reluctance Drive，简称SRD系统)是20世纪80年代迅猛发展起来的一种新型电机驱动系统，其发展历史只有短短几十年，却凭借良好的调速性能在电气传动领域赢得了重要位置，具有很好的发展前景。但在开关磁阻电机的性能分析、设计和控制方面，仍有一些问题有待解决，如对位置传感器的依赖、转矩的脉动等，这些都影响了它的进一步应用。本文以PIC16F877单片机
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统一潮流控制器(Unified Power Flow Controller，简称UPFC)是灵活交流输电系统FACTS(Flexible AC Transmission System)设备中功能最强、最有应用前景的一种装置。该装置的功能包括电压调整、串联补偿、相角调整、及多功能潮流控制等。它能增加电力传输容量，提供电压支撑，有效地阻尼系统的振荡，从而提高了输电系统的可靠性。通过选取统一潮流控制器(
本课题主要针对燃煤电厂锅炉夏季燃烧缺风影响负荷问题的工程案例进行有关应用技术研究，采用对锅炉送风进行直接蒸发冷却达到增大送风密度和提高送风含氧量的目的来解决这一问题。本文简要综述锅炉及锅炉风机节能技术的发展现状以及蒸发冷却技术的原理、应用领域、设备开发与研究现状；利用FLUENT计算流体软件对锅炉房内部的流场和温度分布进行模拟，了解了锅炉房内流体的速度场、压力场及温度场的分布情况；通过分析全年气象
SrTiO_3是一种钙钛矿金属氧化物绝缘体，它被广泛用于晶界电容器、氧敏传感器、生长高温超导薄膜的衬底，在水的光解中用作催化剂，做为高电容率材料在超晶格和下一代超大规模集成电路中具有潜在的应用价值。目前，尽管对SrTiO_3电子结构、半导化掺杂、低压化途径、导电模型、缺陷态、表面／界面态等方面进行了大量的理论和实验研究，但是杂质和缺陷对SrTiO_3材料半导化、光学性能以及相关性质的影响机理仍存在
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燃料电池是一种将储存在燃料和氧化剂中的化学能通过电极反应直接转变成电能的发电装置，它的最大特点是不经过热机过程，因此，不受卡诺循环限制，能量转换效率高，而且环境污染小，噪声低，被公认为是21世纪首选的清洁、高效的发电技术。其中质子交换膜燃料电池(PEMFC)由于具有工作温度较低、起动时间短、功率密度高等特点，作为新一代电动汽车动力源、便携式小型电源、家庭用热电联供系统等受到各国政府和能源、汽车、家
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