【摘 要】
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白光干涉测量技术是精密器件性能测试、分布式传感等领域的重要手段,光程扫描延迟线作为白光干涉测量的关键器件,其指标(扫描量程、分辨率等)对白光干涉测量的测量范围、空间分辨率等性能具有决定性影响。作为集光、机、电为一体的器件,其稳定性也是影响系统整体稳定性的重要一环。如何设计扫描量程更大、精度更高、插入损耗及波动更小、稳定性更好的光学延迟线,是白光干涉测量领域不断探索的问题。本论文针对大量程高精度光程
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白光干涉测量技术是精密器件性能测试、分布式传感等领域的重要手段,光程扫描延迟线作为白光干涉测量的关键器件,其指标(扫描量程、分辨率等)对白光干涉测量的测量范围、空间分辨率等性能具有决定性影响。作为集光、机、电为一体的器件,其稳定性也是影响系统整体稳定性的重要一环。如何设计扫描量程更大、精度更高、插入损耗及波动更小、稳定性更好的光学延迟线,是白光干涉测量领域不断探索的问题。本论文针对大量程高精度光程延迟线的参数选取、调节及稳定方法、扩展方法、白光干涉测量应用开展相关工作,其主要内容有:(1)根据光程扫
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