液体静压轴承、滑轨或者传动机构,都是利用外部提供的流体压力设备或轴承或滑轨内具有多腔室的结构设计,来保持流体压力的稳定。对于液体静压轴承,除了轴承本身以外,还必须有节流器及供油装置。薄膜反馈节流器在国外高档机械设备中已得到了大量的应用,且对我国形成了技术垄断,阻碍了我国精密液体静压主轴技术的发展及推广应用。针对薄膜反馈节流器的研究,首先建立物理模型,通过有限元软件ANSYS建立耦合模型;对节流器流体与金属弹性薄膜进行双向流固耦合分析,研究膜片上的压力分布对节流器节流特性的影响,得到不同压力作用下金属弹性薄膜的变形,并总结出其变化规律。针对薄膜的性能和变形系数进行了分析研究,得到变形系数与薄膜厚度之间的关系;对薄膜反馈节流器的结构进行优化设计,并对其与液体静压主轴的装配体进行设计分析,得到一种薄膜反馈节流器新结构;分析节流器材料特性与轴承特性的关系,并对薄膜的压力变形和硬度分别进行了实验,为节流器参数的选取提供依据。最后对薄膜反馈节流器液体静压主轴的静态特性和动态特性进行了实验分析,对其回转精度、刚度和承载能力进行实验研究,得到薄膜反馈节流器对液体静压轴承性能的影响数据,综合各种影响因素并对节流器的设计提出建设性意见。