薄膜电感的制备研究

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【摘要】

：

为了得到在更高频率下适用的薄膜电感，在本实验中我们尝试制作了栅极型空心薄膜电感。我们采用掩膜法，通过磁控溅射制各样品，在不加磁性材料的情况下，适当选取线圈形状参数来得到较大的电感，由于形状参数的改变不影响样品的适用频率，因而也能达到增大品质因数(Q值)的目的。此外为提高单位面积的电感量，我们还尝试将两个分层的线圈串联，使电感值有明显的增大。本实验中制作了单个线圈的样品1和样品2以及串联的样品3和样

【作者】

：

邵新勋

【机构】

：

苏州大学

【发表日期】

：

2002年05期

【关键词】

：

薄膜电感掩膜栅极型磁控溅射品质因数

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