超精密加工已经成为在国际竞争中取得成功的关键技术,它是以高精度为目标的技术,必须在综合应用各种新技术,在各个方面精益求精的条件下,才有可能突破常规技术达不到的精度界限,而达到新的高精度指标。研磨加工作为超精密加工中的一种重要加工方法,也日益受到了重视。本文在查阅了国内外平面研磨加工有关技术资料的基础上,对平面数控研磨机床进行了如下内容研究：(1)建立工件摩擦自转式双面研磨数控平面研磨机床模型,分析了研磨盘对工件的摩擦驱动力矩,并分析了工件的自转运动,以及工件与研磨盘之间的相对运动,为以后机床设计、研磨参数选取以及优化等打下了理论基础。(2)设计了工件摩擦自转式双面研磨数控平面研磨机床的上、下研磨机构,并用有限单元法对支座进行了结构静力学分析。(3)用双频激光干涉仪对机床进行了运动精度的直线度检测,并根据检测的结果对机床进行了直线度误差补偿。(4)利用NUM系统提供的丰富的PLC资源以及动态操作功能,对力位混合控制进行了初步研究。