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本文运用分子动力学方法中的静力学计算，利用不同的势函数模型，对Pd(与Cu互溶的金属)、Ag(与Cu不互溶的金属)及Cu增原子在Cu的各种表面台阶边缘扩散过程中的Ehrlich-Schwoebel(ES)势垒进行了系统的静力学计算，包括对二维和三维势垒的计算。通过计算研究了各种台阶表面情况下增原子扩散过程中的ES势垒；同质及异质情况下二维和三维ES势垒的差别，并将Cu与面心立方Al的结果进行了比较；同时，讨论了与衬底互溶的金属(Pd)和与衬底不互溶的金属(Ag)增原子扩散的ES势垒的异同，并将模拟结果与同质情况的研究结果进行了对比。此外，用分子动力学方法初步研究了Pd增原子在Cu(100)表面的扩散行为，对观测到的各种扩散机制进行了讨论，并由扩散势垒的静力学计算结果对扩散机制进行了初步的解释。