基于MEMS技术制造的MEMS微结构与宏观尺寸机械结构相比,具有体积小、低功耗、低成本、抗干扰、可批量生产等优点,被广泛应用于航空航天、机械电子等领域。由于MEMS微结构特征尺寸在微米量级,其力学及其它性能与宏观结构性能有着很大不同。针对武器弹药系统的高冲击、快速响应、抗电磁干扰、微型化等特殊应用需求,以一种能从幅值、脉宽两个特征识别引信正常发射冲击和勤务跌落冲击惯性载荷的MEMS接电惯性开关为典型MEMS微结构进行分析,采用性能测试、理论分析、数值模拟的技术路线,对高冲击下MEMS微结构动态特性与接电性能进行研究。首先,对MEMS接电惯性开关进行静动态性能测试,分析尺寸效应对性能指标以及测试结果的影响。基于应变梯度理论和哈密顿变分原理,建立高冲击下微梁动力学模型,分析尺寸效应对高冲击下微梁挠度、弯曲刚度、固有频率的影响,修正性能参数并应用到MEMS接电惯性开关中,进一步分析尺寸效应对MEMS接电惯性开关探测识别机构和闭锁接电机构动态响应位移的影响。通过观测MEMS接电惯性开关表面形貌,建立粗糙表面黏着模型和电接触模型,并分别计算出相应的黏着力。根据表面形貌进一步分析表面摩擦以及闭锁接电机构表面接电性能。最后,系统分析高冲击下MEMS微结构中的阻尼,确定阻尼延时控制方法。对高冲击下S型弹簧以及MEMS惯性接电开关模态、瞬态进行数值模拟,分析尺寸效应对MEMS惯性接电开关探测识别机构和闭锁接电机构动态响应位移的影响,完善理论模型。