【摘 要】
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本文所研究的H型精密运动平台是由三台参数和结构相同的永磁直线同步电机(Permanent Magnet Linear Synchronous Motor,PMLSM)共同组成的,其中X轴是由在横梁上安装的一台PMLSM构成,且沿X轴方向移动;Y轴是由两台平行坐落在导轨上的PMLSM构成,且沿Y轴方向水平移动。但是,由于扭摆力、机械耦合和摩擦力等多种不确定因素的影响,即使能够对H型精密运动平台的电机
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本文所研究的H型精密运动平台是由三台参数和结构相同的永磁直线同步电机(Permanent Magnet Linear Synchronous Motor,PMLSM)共同组成的,其中X轴是由在横梁上安装的一台PMLSM构成,且沿X轴方向移动;Y轴是由两台平行坐落在导轨上的PMLSM构成,且沿Y轴方向水平移动。但是,由于扭摆力、机械耦合和摩擦力等多种不确定因素的影响,即使能够对H型精密运动平台的电机采取相同的控制方法,也会导致其存在单轴位置跟踪误差和双轴位置同步误差。因而,本文设计了多变量积分切换函数
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