随着LC无源遥测系统的快速发展及其应用的迅速发展,高性能LC无源传感器的微电子研究已成为MEMS行业关注的焦点。凭借其优异的性能,比如尺寸更小,不需要电池和无线工作等优点,它们在需要传感器无线工作并且体积小型化的场合,例如恶劣和密封的环境中非常有用。电感电容(LC)无源无线遥测系统由LC谐振电路和外部读出线圈组成。本论文通过理论和模拟分析,给出了高灵敏度LC传感器的设计方法。LC无线无源传感系统包含LC谐振电路和外部读出线圈。本论文概述了影响LC谐振电路的参数以及灵敏度等的因素。在这种基于LC的无源传感器系统中,影响传感器灵敏度的基本参数是电感,电容,电阻和基板材料。通过LC传感器的灵敏度的理论分析表明,电感对于灵敏度起着关键作用,对系统的性能影响很大。本论文在ADS软件中,建立了原理图模型和版图模型。本论文对系统原理以及影响灵敏度和Q因子的参数进行了仿真分析。通过改变电容,匝数和宽度,给出了高灵敏度LC遥测系统设计的建议。仿真结果表明,增加电容、电感匝数,谐振频率和品质因素Q会下降;但是增加电感线宽谐振频率和品质因素Q则会增大。因此,高灵敏度的LC传感器应具有小的电容和匝数,以及大的电感线宽。最后,利用理论公式对LC传感器进行了理论计算来验证了部分仿真结果。