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高熵合金由于具有特殊的多组元构成、特殊的结构以及可以调节的性能而引起了材料界的广泛关注。高熵合金优异的性能包括良好的耐磨性、高温抗软化性、高温抗断裂韧性、高磁饱和度、良好的外在韧性、耐疲劳、抗氧化和抗腐蚀性能等。这些性能与高熵合金的四个中心效应有关:高熵效应、迟缓扩散效应、严重的晶格扭曲以及鸡尾酒效应。到目前为止,人们已经就高熵合金的很多性能进行了研究。然而,关于粗晶单相高熵合金的纳米压痕蠕变行为以及初始塑性变形行为的研究却鲜有报道。本文采用不同于传统拉伸测试的纳米压痕测试方法来研究粗晶单相高熵合金Al0.3CoCrFeNi的纳米压痕蠕变行为以及初始塑性变形行为。实验中研究了单相面心立方结构的高熵合金Al0.3CoCrFeNi的纳米压痕蠕变行为,并分别探究了晶界、保载载荷以及加载速率对纳米压痕蠕变行为的影响。实验结果表明蠕变深度、蠕变应变率以及蠕变应力指数都随着距离晶界的远近而不同。距离晶界5μm区域的蠕变变形会受到晶界的影响,距离晶界2μm的区域蠕变变形机制主要为晶界滑移变形机制,距离大于5μm的区域主要变形机制为位错蠕变机制。单相高熵合金Al0.3CoCrFeNi晶粒内部进行的纳米压痕蠕变试验结果表明,在不同的最大保载载荷下蠕变行为表现出了很强的压痕尺寸效应。在较高的载荷下蠕变变形机制为位错变形机制,低载荷下蠕变变形机制为自扩散蠕变机制。在不同的加载速率下,蠕变行为表现出了明显的加载速率敏感性。高的加载速率使得在保载阶段产生具有高的应力指数的蠕变变形。并且在保载过程中出现了位移突变现象。通过测量加载-卸载曲线中的第一个pop-in研究了单相高熵合金Al0.3CoCrFeNi的初始塑性变形行为。大量的压痕试验表明初始塑性变形的最大剪切应力的累积分布强烈依赖于加载速率。通过对统计热激活模型的修正得到了激活体积与最大剪切应力的关系式。此单相高熵合金的纳米结构非均匀性使得初始塑性变形的位错形核具有不同的形核位置,进而导致了最大剪切应力概率分布图中出现双峰分布的特点。