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机床工作的性能直接影响着零件的加工精度,影响机床加工精度的原因有很多。进给传动系统是数控机床的主要组成部分之一,它承担了数控机床各直线、回转坐标轴的定位和切削进给,进而将直接影响到数控机床的加工精度。而进给轴是数控机床实现进给运动的主要部件之一,因此它精度的高低最终会影响到零件的加工质量。本文对一种由激光干涉仪和用圆光栅作为位置检测元件的连续回转反转装置组成的回转精度检测系统进行了研究,深入研究了此系统中激光干涉仪检测部分和圆光栅检测部分,分别对它们测量时的误差来源、数据处理、仿真分析等做了研究。 本文在详细介绍了回转精度测量系统的基础上,首先以激光干涉仪检测装置为对象,基于仪器的测角原理,对测量中各误差的来源进行了分类讨论,设定了装置中各部件的坐标系,利用各部件间的坐标变换推导出了测量装置的观测模型,根据激光干涉仪光线的传播路径和几何光学理论,建立了系统在测量过程的光程差仿真模型,通过对此模型进行仿真计算,验证了观测模型的正确性。 其次在阐述了圆光栅测量系统原理的基础上,分析了测量中的各种误差源,对其中影响最大的圆光栅安装偏心误差详细进行了分析,根据圆光栅测角与偏心参数之间的关系,推导幽了误差补偿模型。然后利用圆光栅在偏心和倾斜安装后莫尔条纹的变化方程,建立了一个圆光栅测角误差的仿真模型,通过对模型进行仿真分析,得出了圆光栅安装时各因素对测角误差的影响关系。 最后,以激光测量系统中两个镜子的位姿变化所引起的测角变化为对象,通过实验进行了测量和数据分析,对比前文中所建模型的仿真结果,验证了所建模型的正确性。