【摘 要】
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激光光束质量是现代激光制造技术的核心,它标志着激光器发展的水平,同时也决定了一台激光器的适用范围。随着激光技术应用的拓宽,如何有效测量、描述和评价激光光束质量成为
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激光光束质量是现代激光制造技术的核心,它标志着激光器发展的水平,同时也决定了一台激光器的适用范围。随着激光技术应用的拓宽,如何有效测量、描述和评价激光光束质量成为一个关键问题。本文研制了一种光束质量测试仪,该仪器可针对400-1700nm宽光谱范围的稳腔激光器进行有效的测试分析。激光光束质量的评价是以应用为先导,论文在分析光束质量评价参数及其适用性的基础上,指出对激光器输出光束检验的评价标准以M~2因子较为适合。对M~2因子的测量可归结为对光束传输方向上不同位置的光束束宽的测量。通过对光束束宽测量方法的讨论,论文提出功率衰减结合面阵CCD探测的测量方案,并完成了测量系统的初步选型和总体研究方案的制定。进而在此基础上完成了光学跟机械结构的设计。对测试激光,光学系统实现了衰减无畸变,透镜无像差。机械结构是一个安装在精密螺纹导引装置上的测试平台,通过步进电机控制反射镜组位移实现CCD采集。最后对He-Ne激光进行了测量实验,结果说明所设计的激光光束质量测试仪能精确测试激光M~2因子等参数,完成了设计目标。
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