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半导体金属氧化物具有化学和热稳定性,电子兼容性、气敏元件设计简单、灵敏度高以及价格低廉等优点,因此被广泛用作气体敏感材料。本文采用一种简单、快速的合成方法-微波水热法来合成具有不同形貌结构的半导体金属氧化物,采用静态配气法评价气敏元件对不同种气体的敏感特性。主要工作内容如下：1：以四水合三氯化铟(InCl3·4H2O)为原料,利用微波水热法快速制备了前驱体In(OH)3,焙烧得到立方晶相In2O3纳米棒状材料,同时研究了添加不同质量的尿素对样品生长的影响,探讨分析In2O3纳米棒的生长过程。气敏测试结果表明：In203元件对二氧化氮气体表现出很高的响应值,极快的响应恢复速率,较低的工作温度和极低的检测下限。2：以二水合氯化亚锡(SnCl2·2H2O)为原料,氯金酸为掺杂剂,采用微波水热法快速制备了SnO2及Au/SnO2纳米棒,利用X射线衍射、扫描电子显微镜和透射电子显微镜等多种手段对样品的组成、形貌及结构进行表征。气敏测试结果表明：相比于SnO2, Au/SnO2气敏元件在120℃条件下对乙醇气体展现出更高的响应,更快的响应恢复速度,更广的检测范围以及更突出的选择性,因此Au/SnO2纳米棒是一种具有广阔应用前景的乙醇敏感材料。3：以二水合醋酸锌(Zn(Ac)2·2H2O)为原料,柠檬酸三钠为致球剂,尿素为致孔剂,氯金酸为掺杂剂,利用微波水热法制备了ZnO和Au/ZnO双层中空微球,并对样品的组成、形貌及结构进行表征。气敏测试结果表明：ZnO气敏元件对乙醇具有较高的灵敏度,较低的检测下限,较好的选择性以及极低的工作温度等优点。负载Au以后,Au/ZnO元件灵敏度明显提高,恢复时间缩短以及工作温度降低。