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激光直写设备作为衍射光学元件的重要加工设备,其加工精度决定了二元衍射光学器件的成像质量。随着光学技术的飞速发展,研究具有高精度的激光直写设备至关重要,同时又能推进超精密加工技术的进一步发展。定位控制系统是该设备的关键组成部分,其性能将影响到整个设备研制的成败,因为定位控制系统的精度与设备的写入精度是息息相关的。本课题主要以直线电机与气浮导轨组成的伺服控制系统为研究对象,从系统噪声的抑制与衰减角度,对控制系统中的数字滤波技术进行了研究,并给出了系统各部分的硬件实现方法。本文首先对直线电机伺服控