论文部分内容阅读
为在狭小空间对微小器件进行精密测量,提出基于自混合效应的测距方法。该方法除了保留传统光学测距所具有的精度高、速度快、对测量物体表面无损伤等优点外,还具有测距传感器结构简单、易小型化、对物体反射面要求低等优点,适合在狭小空间展开测量任务。本论文针对上述需求,开展了基于垂直腔面发射激光器(VCSEL)的自混合测距研究。论文首先从三镜法布里-珀罗腔(三镜F-P)模型和速率方程模型推导了自混合现象的频率方程和功率方程,并通过数值仿真对自混合现象进行了分析。在此之后,建立了自混合测距数学模型,为自混合测距的实