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惯性开关作为一种将传感、判断及执行于一体的惯性器件，是对加速度敏感并在加速度超过某一阈值时，提供开关闭合动作的器件。MEMS惯性开关具有结构简单，体积小，质量轻功耗低等鲜明特点，尤其适用于弹药环境。为了适合不同种弹药类型、打击不同作战目标和满足通用性的要求，使惯性开关能够安全、稳定可靠地工作，本文提出一种利用静电调节加速度阈值的MEMS惯性开关。研究了开关的多物理场效应，分析了静电场、加速度场以及阻尼场对悬臂梁开关性能的影响，得出悬臂梁开关在静电场中的吸合电压及系统刚度表达，并从理论上分析了