柔性透明近距离/压力双功能MEMS传感器研究

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基于微机电系统(Nano-/Micro-Electro-Mechanical System,N/MEMS)的柔性透明近距离/压力双功能MEMS传感器,具有柔性好可弯曲、透明度高、整体质量轻、制作简单方便等特点,可以广泛地应用在医疗、军事、工业以及生活中的各个方面,具有很大的研究价值。本课题设计了一种柔性透明近距离/压力双功能MEMS传感器,通过研究其工作原理并结合有限元仿真方法,通过一系列的过程完成该种传感器的制作,最后对其透明度、近距离/压力传感灵敏度和线性度等进行了测试研究。首先,对其进行近距离
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