微电子机械系统材料力学性能测试方法的研究

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【摘要】

：

随着微电子机械系统(Microelectronic Mechanical System，MEMS)技术的兴起和发展，MEMS器件已大量应用于国防和民用产品。MEMS器件在热、电、磁作用下的可靠性的要求日益增高。由于MEMS系统不可避免的进行某些机械运动或受到机械力的作用，因此对MEMS材料的力学性能也提出了更高的要求。本文介绍了新近研制的用于测量微电子机械系统MEMS材料的机械性能的单轴拉

【作者】

：

汤忠斌

【机构】

：

西北工业大学

【发表日期】

：

2004年03期

【关键词】

：

MEMS 力学性能 ISDG 薄膜拉伸有限元

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