论文部分内容阅读
氦泡对核聚变反应堆中包括核心结构材料在内的许多材料的性能会产生不利的影响,了解氦泡的演化行为对理解氦泡对材料性能影响有很大帮助。离子束分析以其无损、快速和定量等优点,被广泛应用于薄膜成分和元素深度分布分析上。本论文创新性地利用离子束分析研究了氦泡的演化行为,是对离子束分析应用的有益补充,并且能在不破坏样品的情况下进行氦泡分析,从而真实反映材料中氦泡的演化行为,所以非常有意义。本论文首先利用磁控溅射和ECR等离子体注入方法制备了含氦金属薄膜,结合热退火实现了氦的快速引入及氦泡的快速演化;然