基于激光位移传感器的石英摆片频率参数测量系统研究

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石英挠性加速度计是用来测量线加速度的高精度传感器,在惯性导航系统中发挥着很大的作用。然而在使用中,石英摆片作为石英挠性加速度计中的核心敏感元件部分,其挠性梁易断裂,磁感应强度容易受到环境因素影响使测量结果不稳定。故而石英摆片挠性梁的刚度参数是石英摆片参数中的重要指标。由于刚度和频率之间有固定的公式进行计算,本文通过测量石英摆片的自振频率和扭振频率得到了石英摆片的刚度参数,采用非接触式的激光传感器对石英摆片进行测量,可以很好的测量出石英摆片的自振频率和扭振频率,测量方法高效且测量重复率高,避免了之前测
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