【摘 要】
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本文以化学气相沉积法制备的金刚石膜中的残余热应力为研究对象,利用有限元方法对金刚石膜在沉积过程中产生的残余热应力的分布规律进行研究和数值模拟,并探讨了不同因素对金刚石膜残余热应力的影响。主要的研究工作如下：1)采用有限元软件ANSYS建立了沉积过程中金刚石膜产生残余热应力的有限元模型,并根据实际制备条件进行调整,使模型更符合实际。2)采用建立好的有限元模型,研究了基体温度、基体塑性行为、基体拐角形
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本文以化学气相沉积法制备的金刚石膜中的残余热应力为研究对象,利用有限元方法对金刚石膜在沉积过程中产生的残余热应力的分布规律进行研究和数值模拟,并探讨了不同因素对金刚石膜残余热应力的影响。主要的研究工作如下：1)采用有限元软件ANSYS建立了沉积过程中金刚石膜产生残余热应力的有限元模型,并根据实际制备条件进行调整,使模型更符合实际。2)采用建立好的有限元模型,研究了基体温度、基体塑性行为、基体拐角形状、膜内不均匀初始温度场和膜／基界面形貌这些因素对金刚石膜的残余热应力的影响规律。研究结
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