夏克—哈特曼波前传感器精度标校研究

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用于光学元件面形检测和光学系统像差检测的夏克-哈特曼波前传感器,在标校过程中用一块平面反射镜或标准球面镜作为参考面。而在此过程中,一般将其视为理想状态,忽略了其本身所带误差。同时,夏克-哈特曼波前传感器的系统误差也从未单独标校出来。这也是本论文所需解决的问题。本文从绝对检测方法中选择了旋转-平移法,并对旋转-平移法对单阶的影响做了相应仿真分析,同时,将此方法用于夏克-哈特曼波前传感器系统误差的标定中。本文的主要研究内容如下:首先,对旋转-平移法本身,对前36阶各单阶像差进行了仿真,分析了仿真结果。从仿真结果可知,旋转平移法所涉及算法中,平移算法对最后的影响较大,即具有旋转对称性质的像差复原结果对最后复原结果影响较大。同时,旋转平移法本身精度很高,尤其是低阶次像差的精度。同时,将旋转-平移法运用到夏克-哈特曼波前传感器仿真中,仿真结果表明,此方法是可行的。同时,对平移量误差、旋转角度误差对精度的影响做了仿真分析。因为平移量误差大小对应的是有效数据损失量,所以平移量误差对精度的影响比较大,在实验中要尽量减小平移量误差。旋转角度误差只要控制在1°范围内,对精度的影响是很小的。在实验中,以不同角度为旋转角度测得三组数据,运用旋转平移法获得像差板面形误差,进而得到夏克-哈特曼波前传感器系统误差。实验证明,此方法是可行的。
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