微等离子体氧化法制备钛酸钡和钛酸锶钡陶瓷膜

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该课题用微等离子体氧化法在钛金属基体上制备钛酸钡陶瓷膜,并对陶瓷膜进行了Sr元素的掺杂,制备出了钛酸锶钡(BST)陶瓷膜.利用X射线衍射(XRD)、扫描电镜(SEM)和电子探针(EPMA)等测试手段对所得到的各个陶瓷膜进行了膜层的相组成、形貌特征和元素分布进行了分析.结果表明,在所选定的工艺参数条件下得到了钛酸钡和钛酸锶钡陶瓷膜,膜层由接近于纯相的钛酸钡或钛酸锶钡构成,表面相对较为平整,各元素在陶瓷膜层中分布均匀,无梯度变化.并且根据实验现象和结果对钛酸钡陶瓷膜成膜过程中可能的反应机制进行了初步的探讨.
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