该文的主要研究对象是硅微机械三维加速度计.详细地讨论了电容式、压电式和压阻式微硅三维加速度计的设计、模拟和电容式硅微机械三维加速度计制作工艺和初步的测试结果.该文首先阐述了电容式、压电式和压阻式加速度计的工作原理,给出了一些具体的实例,并对它们各处的优缺点进行了比较.其次,对一种高度对称的四梁结构在受到不同加速度时的力学特性进行了分析,为器件的设计奠定了理论基础.接着,结合该四梁结构在受到不同加速度时的力学特性和各种加速度计的基本工作原理,实现了对电容式、压电式和压阻式微硅三维加速度计和理论设计.然后,利用有限元分析工具ANSYS,分别对电容式、压阻式 三维加速度计的模态、静态分析和对压电式微硅三维加速度计的模态、静态耦合场分析.分析的结果很好的印证了器件的设计,并在理论上显示出器件会不较好的性能.另外,通过质量块和县臂梁形状的一些改变会改善器件的一些性能,得到了更优化的结果.接着,该文又较详细地讨论了电容式微硅三维加速度计的工艺流程,对流片过程中遇到的一些问题进行了讨论,并对工艺中的一些缺陷提出了一定的改进意见.该文的最后给出了器件初步的测试结果.