磁控溅射技术具有轰击粒子能量高、制备的薄膜致密性和均匀性好、便于大面积成膜等优点被广泛应用于能源、材料、物质、环境等诸多专业领域，这些领域中所采用的磁控溅射电源稳定性和可靠性已无法满足高要求的镀膜工艺。近年来，数字化、智能化加工电源已经成为了一种发展趋势。　　本文从磁控溅射工艺中主要存在起辉成功率低、恒流特性较差、易发生打弧等问题出发，对磁控溅射电源的恒流特性和抑弧进行了分析与研究，采用模糊比例积分(Fuzzy-PI)结合负载电流前馈复合控制策略使系统达到了良好的输出性能。首先根据溅射工艺与等离子体负载特性建立了等离子体负载等效电路模型;采用状态空间平均法建立了电源系统的数学模型，设计了其电流闭环控制的PI参数;然后针对等离子体负载特性及专家经验建立了Fuzzy-PI控制器，并进行了Matlab/simulink对比仿真分析验证了复合控制策略的合理性与有效性。在磁控溅射电源主电路的基础上，以高性能DSP2808为核心控制芯片，设计了磁控溅射电源软件程序包括复合控制策略、移相PWM信号及数字滤波和保护功能。最后，在一台等离子体加工电源的样机平台上进行实验，结果验证了复合控制策略的可行性与有效性。