传统的微振动位移测量方法已经很难实现现代工业对非接触、长时间、高稳定性的测量要求。采用激光干涉法设计的干涉仪可以很好的解决这一问题。然而,目前的大多数激光干涉仪光路系统受环境影响易在数据上产生直流漂移现象,降低了系统的稳定性,且仪器设备存在便携性不足,测量速度慢等缺点。为此本文从激光干涉测量原理上出发,通过分析研究传统干涉系统,从光路结构、硬件电路、软件算法三个方面进行改进,设计出光路结构紧凑、可自适应去偏置的微振动位移测量系统。首先,本文通过比较激光干涉测距法中的零差干涉与外差干涉的优缺点,选择了基于零差干涉原理的系统测量方案总体设计。其次,在参考零差干涉光路系统前提下,采用光路微偏方法重新设计了系统光路,来提高获取清晰干涉条纹的能力。并改进光路机械结构,实现了光路可调性与系统的小型化、便携化。第三,在软硬件系统方面,通过设计了去直流偏置电路与二分法调偏置程序,实现了系统自适应去偏置的能力,极大的消除了由背景光强所带来的直流漂移对系统的干扰。并通过设计程控放大电路,得到了适合后续数据处理的放大信号。最后通过设计椭圆拟合算法与解包裹算法程序,实现干涉信号由位移数据的转化。并通过上位机CVI控制界面把位移数据实时显示出来。本文还设计了迟滞比较电路将干涉正弦信号转化为方波信号,通过下位机STM32采样,实现了快速条纹计数,为提高位移测量速度提供了条件。最后,通过对压电偏摆镜输出微振动信号的测量,进行了系统的相关稳定性测试,并提出了今后系统还需改进的地方。