【摘 要】
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随着MEMS（微机电系统）工艺的发展，微流体系统已经成为一个非常热门的研究领域，而无阀微泵作为微流体系统的核心动力元件也得到了越来越多的关注。然而，无阀微泵的传统制造工艺方法具有工艺复杂、生产周期长、成本高等不足，为了解决这些工艺不足，本文提出了一种新的设计思想，对无阀微泵的制造工艺进行了深入的研究和适当的改进。本文首先介绍了无阀微泵的工作原理，并通过有限元软件仿真分析得出了收缩管/扩张管的流量及
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随着MEMS（微机电系统）工艺的发展，微流体系统已经成为一个非常热门的研究领域，而无阀微泵作为微流体系统的核心动力元件也得到了越来越多的关注。然而，无阀微泵的传统制造工艺方法具有工艺复杂、生产周期长、成本高等不足，为了解决这些工艺不足，本文提出了一种新的设计思想，对无阀微泵的制造工艺进行了深入的研究和适当的改进。本文首先介绍了无阀微泵的工作原理，并通过有限元软件仿真分析得出了收缩管/扩张管的流量及效率随着其主要参数（包括扩张角、长度、最小宽度和泵腔深度）的变化关系。在此基础上，选择优化的参数
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