单色仪转角重复精度的位相板衍射准直方法测量

来源 :中国科学院上海应用物理研究所 | 被引量 : 0次 | 上传用户:luck_mike
下载到本地 , 更方便阅读
声明 : 本文档内容版权归属内容提供方 , 如果您对本文有版权争议 , 可与客服联系进行内容授权或下架
论文部分内容阅读
第三代同步辐射光源在亮度、相干性、准直性等方面都有了较大的改善,但同时也对光束线提出了更高的要求,尤其是在传输过程中光学元件的精密机械控制。软X射线谱学显微光束线是上海光源首批建造的七条光束线之一,光束线的核心设备是变包含角平面光栅单色仪。单色仪的机械结构精度直接影响出射光束的能量稳定性及能量分辨能力。为了实现光束线具有较高能量分辨率的光束输出,设计上要求平面镜和光栅的转角重复精度小于0.43",联动时光斑漂移小于1.1”。   由于变包含角平面光栅单色仪的特殊机械结构,使用常规的商用自准直仪已经很难给出所需要的测量精度。为此,为了准确测定单色仪的转角重复精度,本文提出了一种新的基于位相板衍射准直技术的测量方法。该方法将半导体激光单模光纤和位相板衍射准直技术结合起来,利用面阵CCD采集图像,通过测量光斑的位移变化确定平面镜和光栅的角度变化。实验表明,该方法可以测量掠入射情况下单色仪联动时的转角重复精度,测量精度可达±0.1”,此测量精度优于同等实验条件下的商用ELCOMAT3000自准直仪的测量精度。而且使用该方法的测量过程中,不需要大的光学镜子,因此该方法可用于SSRF中其他光束线采用的光学元件转角重复精度的测量。
其他文献
薄壁零件的加工方法有很多种,但加工的质量、刀具消耗、设备成本、加工效率有较大的区别。本文论述批量生产薄壁类螺纹零件在数控车床上的加工,包括夹具设计,如何提高效率,薄壁类
ZnO基半导体在蓝光和紫外光发射、高密度存储、气敏传感器、表面声波器件、太阳能电池、显示器件、压电器件、高温微电子器件、光电子器件等方面显示出广阔的应用前景,使其成
导引头技术是精确制导导弹的核心技术之一,导引头的性能直接影响制导导弹的命中精度。导引头伺服控制系统是导引头的关键组成部分,其性能直接决定导引头的跟踪精度。  本文根
大型激光装置如美国劳伦斯·利弗莫尔国家实验室的NIF装置,所需的光学元件种类繁多且数量庞大,为保证光学元件在集成过程中获得严格的姿态精度、稳定性以及洁净要求,装置在设计
新近纪以来,在南海海域陆架边缘、陆坡隆起和深海火山岩隆等构造背景上,发育了大量的生物礁滩沉积体.受沉积环境和基底的控制,不同地区的生物礁发育时间与沉积特征有所不同.
发动机作为现代社会的主要动力源之一,其广泛应用在汽车、船舶以及工程机械等领域。作为一种在现实生活中广泛应用的动力机械,其性能和可靠性严重影响着我们的生活。因此,如
油画是艺术领域中非常重要的一门学科,我们中职美术教学中若是没有油画教学或者只作为一两堂欣赏课来处理,我想那我们的中职美术教学肯定是不完整、不科学的。本文主要分为以下
肝癌(原发和转移癌),肝海绵状血管瘤是肝内常见的占位性病变,正确诊断对选择治疗方案十分重要。大多数肝癌具有突出的MR征象:T_1-WI病灶信号较低,均匀或不均匀,边界清楚,形
西北植物园历时两年完成的陕西省科技计划攻关项目“平面干花制品关键技术改进研究”日前通过了验收,专家认为该课题首次在国内研究了平面干花制品的规模化生产问题。在植物
沥青混合料配合比是影响沥青路面使用性能的主要因素,是在沥青路面施工质量控制与检验中的重要内容。 传统的检测方法操作程序复杂、费时,并且以有损的方式进行,检测方法原始