微纳米开关多物理场复合接触研究

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随着MEMS开关在商业领域和国防领域的广泛应用,解决了大量的高频无线通信问题,促使了通讯系统及经济的迅猛发展。然而它的实际应用由于其易失效等弱点受到限制。研究两粗糙表面接触行为,对提高MEMS开关可靠性问题具有重要的理论意义和应用价值。接触电阻、接触热均为获得MEMS开关高性能、高可靠性的重要参数。目前,RF MEMS开关等效球体接触电阻理论模型和接触热理论模型,存在变形情况考虑单一、模型较理想化等问题。MEMS开关接触行为研究主要集中在使用实验方法来进行。在实验过程中,不可避免的存在方法复
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