【摘 要】
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微型泵是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于环境测试、生物技术和分析化学等领域。对一种能持续、稳定传送0～55μl／min超低流量的微泵进行设计、制作、数值模拟和实
【出 处】
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华北电力大学(北京) 华北电力大学
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微型泵是微机电系统(MEMS)的一个重要分支,可广泛应用于环境测试、生物技术和分析化学等领域。对一种能持续、稳定传送0～55μl／min超低流量的微泵进行设计、制作、数值模拟和实验研究。在硅基片上通过微加工技术形成间距从中心微孔到表面边缘逐渐加密的微柱阵列结构,通过微结构的变化产生毛细力梯度,借助表面蒸发产生的牵引作用对流体进行连续输送。对影响微泵性能的各种因素进行分析,优化设计微泵,并通过实验对理论分析结果进行比较验证。
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