【摘 要】
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高精度主动隔振技术是保证精密仪器获得高精度测量结果的关键技术之一。本文基于“国家重大科研仪器设备研制专项申请预先研究项目”，结合相关理论，应用计算机仿真和实验研究的方法，系统地研究了精密测量仪器的主动隔振技术。本文对高精度主动隔振平台进行了动力学建模、分析和实验模态分析；设计了主动隔振系统的关键元件——致动器，并对其特性进行了实验和分析；在深入研究广义预测控制理论的基础上，结合模糊控制理论，设计了
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高精度主动隔振技术是保证精密仪器获得高精度测量结果的关键技术之一。本文基于“国家重大科研仪器设备研制专项申请预先研究项目”，结合相关理论，应用计算机仿真和实验研究的方法，系统地研究了精密测量仪器的主动隔振技术。本文对高精度主动隔振平台进行了动力学建模、分析和实验模态分析；设计了主动隔振系统的关键元件——致动器，并对其特性进行了实验和分析；在深入研究广义预测控制理论的基础上，结合模糊控制理论，设计了广义预测模糊控制系统。经计算机仿真验证，隔振效果良好。分析了分子测量机的振动允许值和所处的振动环
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