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化合物薄膜太阳电池具有效率高、体积小、成本低廉等优点,是未来太阳电池发展的重要方向之一,但是现有的制备工艺和非环境友好材质问题在一定程度上制约了其实用进程。例如,在CdTe薄膜太阳电池制备过程中,确定合适的CdCl2退火处理工艺是获得高性能电池的关键步骤。而对于铜铟镓硒(CIGS)薄膜太阳电池,开发环境友好的缓冲层材料是重要环节。本文主要选取CdTe电池作为研究对象,分别采用溅射和近空间升华法制备了CdTe薄膜,详细研究了CdCl2处理对薄膜性能的影响,具体研究结果如下:首先采用射频磁控溅射