论文部分内容阅读
本文采用磁控溅射法制备了Fe/Pt多层膜、Dy/Pt多层膜和Dy/Fe/Pt多层膜,然后通过真空热处理,成功制备了FePt、Dy-Pt和Dy-FePt合金薄膜。利用X射线衍射、扫描电镜、电子探针X射线能谱研究了多层膜退火后的相结构、成份和相转变,用振动样品磁强计测量了所制备的样品的磁性,并对影响磁性能的各种因素进行了分析探讨。在对Pt缓冲层厚度的研究中发现,随着Pt缓冲层厚度(t≦8.6nm)的增加,FePt合金薄膜的有序化温度明显降低,晶粒尺寸逐渐减小;薄膜样品点阵常数c/a的比