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三坐标测量机作为现代大型精密仪器,在空间三维尺寸测量领域已越来越显示出它的重要性和广阔的发展前景。测头是三坐标测量机的重要部件。它关系到测量装置的测量精度、工作效率和测量功能。按测量方式测头可以分为接触式和非接触式。目前非接触式激光测头具有效率高、响应快、没有摩擦、可测量软质表面等优点,已经成为测头发展的主流。人们希望有更好的、新型的、简单易用的非接触测头可以满足形貌质量控制的要求。本文针对非接触测头这一领域开展了深入研究,以满足这方面需求。这种测头的测量精度高,可达亚微米级,形成的光斑小,可用于微