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传统流体控制阀大量使用电磁铁作为电一机械转换级,将控制信号转换为机械的位移,推动阀芯,实现通路的开关、切换或输出压力、流量的控制。电磁阀有价格低廉,操作使用方便等优点,但其存在体积大、功耗大、响应速度慢、发热和受电磁干扰等缺点,在严格要求输出小流量的场合;需要快速响应的场合;对功耗、体积、抗干扰能力、安全性和可靠性有严格要求的场合应用受到了限制。针对电磁铁作为阀驱动器的不足,本论文以新型的阀芯驱动装置—积层式压电驱动器驱动杠杆式柔性铰链作为研究对象。积层式压电驱动器有不需传动机构、位移控