三氧化钼一维纳米材料的制备、性能及器件研究

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气体传感器广泛应用于日常生活中,但传统气敏器件因体积大、质量重、不具有柔韧性而被大大限制了应用。随着生活水平的提高,人们迫切希望传感器实现集成化、微型化、智能化特点。一维纳米材料由于其优越的物理、化学性能,可以有效地应用于电子传输、制备柔性器件及纳米功能集成电子器件。近年来,一维纳米材料在气体传感器中的应用为其发展带来了契机,然而比起其它金属氧化物而言,目前MoO3一维纳米材料在气敏方面的应用还处于研究阶段。三氧化钼一维纳米材料因独特的层状结构有利于气体的吸附,比表面积大,活性位点多且电子能沿轴线迅速传输,在气体传感器领域有巨大的应用潜能。本文通过两种前驱体制备MoO3纳米带,采用现代测试方法对材料的物相和形貌进行表征,通过制备旁热式及单根气敏器件研究其气敏性能。结果如下:1.分别以过氧化钼溶胶和乙酰钼为钼源制备M003纳米带。过氧化钼溶胶制备的MoO3纳米带为正交相三氧化钼,其长度约10μm,宽度100~250nm,厚度20~50nm;以乙酰钼为钼源制备的MoO3纳米带长度100~300μm,宽度100nm~1μm,厚度50~500nm,水热时间为25h时可分离出单根纳米带。2.将两种前躯体制得的M003纳米带制成旁热式气敏器件进行乙醇气体气敏性能测试。结果表明,以过氧化钼溶胶为前躯体制备的MoO3纳米带工作温度在150~332℃范围。对1000ppm的乙醇灵敏度在190℃时达到最高,最高值为33,其检测极限为20ppm。以乙酰钼作钼源的溶胶为前躯体制备的MoO3纳米带在273~332℃时具有最低探测极限为5ppm。其灵敏度332℃时达到最高,此时对1000ppm的乙醇灵敏度为13。3.对以乙酰钼作钼源制备的MoO3纳米带进行单根器件组装并进行电化学测试及对乙醇的气敏测试。结果表明,选择SiO2层在300nm以上的Si/SiO2衬底、功函数小于5.5ev的金属作电极、直径150nm以下的MoO3纳米带制作的单根器件在-1~+1V的电压区间较易形成欧姆接触。结果显示,单根器件对1000ppm乙醇响应时间仅为10s、恢复时间2s;对4000ppm乙醇响应、恢复时间皆仅为3s。
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