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基于巨压阻效应的高量程高灵敏加速度传感器设计和工艺研究

来源 :清华大学 | 被引量 : 0次 | 上传用户：chinetman

【作 者】

：

孙振源 

【出 处】

：

清华大学

【发表日期】

：

2018年09期

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