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静电力是微机电系统(MEMS)中一种重要的驱动方式，现在已经广泛应用于微开关、微钳和微镜等微器件中。尽管已有一些静电驱动的MEMS产品实现了商业化，但是相关设计理论和设计工具尚不能满足工业设计的需求，实际设计中主要的设计方法仍然是反复试验，这导致了设计效率低下，制约了产品的研发速度和商业化进展。本文旨在探讨利用ANSYS以直接耦合的方法分析静电驱动悬臂梁式微开关的静态、动态和稳定性特性并根据分析结果验证理论推导的正确性。研究内容包括悬臂梁式微开关承受直流驱动电压的静态分析以及其承受交流驱动电压下的静