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数字微反射镜(DMD)是微电子机械系统理论的具体应用,是科学技术市场化、商品化的产物.该文的目的在于综述数字微反射镜(DMD)和数字光处理技术(DLP)的工作原理、确定微反射镜的各个结构参数和具体的功能要求、提出和验证微反射镜的机电动力学模型、确定分析方法和策略、分析和模拟微反射镜单元的运动状态和过程、探讨DMD的加工制造、通过对原的结构的分析,探讨一种更具有优越性的新结构.