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利用金属纳米粒子表面等离子激元效应提高硅薄膜太阳能电池光吸收效率是一种新颖而有效的方法。通过设计新型电池结构,使得金属纳米粒子有显著的等离子体共振效应,可以达到宽光谱的光吸收及有效的光能转换,提高太阳能电池的效率。本文在硅薄膜表面设计了三维圆柱型Ag纳米粒子阵列,对硅薄膜太阳能电池的光吸收效率增益进行了模拟。详细地计算了粒子半径、高度、阵列周期及薄膜厚度对电池效率的影响,并对其物理机制加以讨论。当高度和厚度发生改变时,增强因子发生阻尼振荡。通过模拟我们得到了对于500nm厚度的薄膜硅,表面等