腔光力学是利用光场与宏观机械振子运动之间的耦合,实现对机械振子运动的光学探测以及对机械振子在量子区域进行控制。氮化硅薄膜具有高品质因子、低光学吸收率,已成为光力学研究的一个重要分支。本论文中实验所使用的是基于氮化硅薄膜的光机电系统,通过研究参量共振现象,包括微弱振动信号放大、热噪声压缩、薄膜有效品质因子的增强以及非线性振子效应等,测试了系统的性能。该系统是将氮化硅薄膜的基质直接粘接在环形压电陶瓷上,我们不仅可以电学地调控薄膜的振动,更重要的是,通过压电效应,薄膜振子的应力和弹性常数可以被动态调制。这样一个简单的系统,不需要复杂的纳米/微米制造技术,并且可以结合光学相互作用和量子极限探测,为研究腔光力学提供了一个有用的平台。理论上通过在振动方程中加入参量驱动项进行推导,将实验现象与理论相结合。同时计算了驻波腔和行波腔与氮化硅薄膜结合的情况,以及实验系统对位移测量的灵敏度,为精密测量中提高位移测量精度提供了理论指导。