论文部分内容阅读
本文在综述国内外光电产品检测装备的基础上,首先提出了适合于各类光电产品的初、中、高级三种检测方法及其对机构设计的要求,并以两类规格(1m×1m、2m×1m)的检测组件为例,对高级检测方法进行了详细的检测方案设计,并获得了相应的两种优选方案;接着,进行了机构概念设计,提出了系列可应用于各类光电产品检测方法的2~6-dof并/混联运动平台机构共13种,其中,应用于初级检测的机构3种,中级检测的机构2种,高级检测的机构8种,并进行了结构分析;第三,详细分析了两种可应用于初级检测方法的3-dof平面型光电产