X射线荧光光谱检测中,异种靶材元素的内部结构与特性不同,导致X射线原级谱的差异。在能量色散X射线荧光光谱检测中,原级能谱分布影响谱线的分析准确度,所以根据元素结构与特性选择靶材对最终测量光谱至关重要。本文主要通过对阳极靶材结构进行理论分析与模拟研究,对三种靶材的元素特性和原子内部结构进行了分析,根据X射线的发生机制模拟Cr、Mo、W三种阳极靶材对入射电子的吸收、散射作用并得出结论。模拟三种元素作为阳极靶材测量四种不同纯元素所产生的测量谱线,并且分析得出不同靶材对测量光谱产生的影响因素。根据理论模拟,针对模拟结果,利用能量色散X射线荧光光谱仪进行实际测量验证,通过对四种元素的测量光谱分析,得到三种靶材的原级谱分布对测量光谱产生的影响。根据模拟和实验的验证,不同的元素靶材其原级谱线的特征谱、强度、波长、射线产额等都存在差异,这种差异对测量光谱造成光谱叠加、背景淹没等影响。在实际测量光谱工作中,需要针对测量元素(包括：原子序数、含量等)进行靶材的筛选,这对实际元素检测中降低检出限、定性分析、精准定量测量等方面起到关键性作用。