自从自组装分子膜被发现之后，人们便对这种膜产生了浓厚的兴趣。自组装分子膜因具有性能优良、制备简单、设备成本低廉、操作方便、应用领域广阔等优点，越来越受到人们的重视。　　本文以1H，1H，2H，2H-全氟癸基三氯硅烷（简称FDTS）为研究对象，利用气相生长的方法在不同工艺条件下制备了FDTS自组装单分子膜;并对自行设计的HX04MVD-100分子层真空环境综合沉积装置进行了调试;研究了生长在单晶硅、多晶硅、二氧化硅、氮化硅四种基底上FDTS单分子膜在室温水、沸水、1mM/L的盐酸和50mM/L的硫酸钠四种溶液中稳定性;利用接触角对具有不同特征尺寸的微结构进行了表征，研究了微结构特征尺寸对表观接触角的影响，从已有的Wenzel&Cassie模型理论出发，推导出了适合本实验中微结构的理论方程，通过对Wenzel&Cassie模型的分析来描述了微结构排列方式不同时，接触角与特征尺寸的关系，并与实际接触角进行了对比。　　在设备的调试过程中发现，并不能利用该设备重复地制备出质量相等的自组装单分子膜来。因此，我们在该设备上通过各种方式生长自组装单分子膜，通过大量实验发现，设备的进气系统和密闭性存在问题。对进气系统提出了进一步改进的方案，提高了其真空度，并对各种管路等采取保温措施，目前新的进气系统正在安装过程中。　　研究表明，生长在单晶硅、多晶硅、二氧化硅、氮化硅四种基底表面上的FDTS单分子膜在沸水、室温水、盐酸和硫酸钠溶液中浸泡后，其表观接触角均随时间的增加而减小，其中FDTS单分子膜在沸水中的稳定性最差，在室温水中的稳定性最好，而在盐酸和硫酸钠溶液中的稳定性位于两者之间。在膜的失效过程为一级反应的假设下，得出其失效方程可用cosθ=Aexp(-t/τ)+B来表示，利用该方程可以对实验数据进行很好的拟合，在不同溶液中的FDTS单分子膜，其失效方程中的参数均不相同。　　微圆柱的直径、深度、柱间距离及排列方式对微结构的表观接触角有很大影响。在某些特定的情况下会观察到由复合表面向润湿表面转化的情况，微圆柱的深度越深，其临界接触角值所对应的柱间距越大;研究还发现，按三角形排列的微结构发生临界转变（从Cassie模型向Wenzel模型转变）的P值较大;直径越大的微圆柱发生临界转变（从Cassie模型向Wenzel模型转变）的D/P值越大。通过理论Wenzel&Cassie模型与实际接触角的对比发现，实际接触角的变化趋势符合理论模型，但是实际的临界转化点却与理论有所偏移。