当前，高新技术对于一个国家和地区的产业结构和经济发展起着前瞻性和驱动性作用。在科学技术迅猛发展和经济全球化趋势日益明显的大背景下，国与国之间、地区与地区之间的竞争，在很大程度上就是发展高新技术产业的竞争。高新技术产业的区位一般趋向聚集于具有智力资源密集、信息灵通、良好的生活环境质量、基础设施发达、交通通信便利的地区，因此，高新技术产业发展的集群特征明显。由于高新技术产业集群具有外部性、公共性的特点，使得政府和财政的支持成为必要。在市场经济国家，政府是通过合理有效的财政激励机制来培育和发展高新技术产业集群。本文首先从高新技术产业集群的形成机理、财政支持高新技术产业集群理论基础和培育高新技术产业集群方面的落脚点和路径等方面对财政激励高新技术产业集群的相关基础理论进行分析；再从我国高新技术产业和产业集群的形成和发展以及财政激励高新技术产业集群的现状三个方面，总结了培育我国高新技术产业集群中存在的问题；然后通过行业集中度、高新区增加值和财政支出等数据和相关模型，并举出中关村科技园区的案例对我国财政激励高新技术产业集群进行实证分析；最后综合以上理论和实证分析结论，结合典型国家财政激励高新技术产业集群的经验和启示，从制度设计的基本思路和具体的对策两方面，提出创新培育我国高新技术产业集群财政激励机制的策略。