微机电系统(Micro electro mechanical systems,MEMS)一般是由微传感器、微执行器、信号处理器以及控制电路组成,具有集成化,微型化和批量生产等特点,正逐步替代传统传感器与机械结构,已在航天航空设备、太空卫星、运载火箭、飞机、车辆、消费电子及生物医学等领域中广泛应用。本文首先介绍了 MEMS微镜的分类及应用;然后对折叠双S型ISCBimorph驱动结构的双轴电热式MEMS微镜进行研究,该微镜是一种可实现垂直活塞运动以及二维偏转的MEMS微镜,具有大位移、低驱动电压、易于制造等特点;其次对此微镜的运动模型进行研究,通过理论与实验相结合,建立了电热式MEMS微镜系统模型,并通过实验进行了有效性验证;最后进行了基于MEMS微镜的深度摄像头小型化的前期扫描投影阶段的探索研究。在对折叠双S型ISCBimorph驱动结构的双轴电热式MEMS微镜研究过程中,首先分析了其驱动臂的驱动原理;再讨论了双轴电热式MEMS微镜建模方法,根据双轴电热式MEMS微镜的热力学、机械振动、频率响应和光学动态扫描图形分析,考虑驱动臂轴间交叉耦合情况,建立了双轴电热式MEMS微镜的驱动臂交叉耦合模型;最后通过Matlab/Simulink对微镜系统模型进行仿真,并模拟了双轴电热机械MEMS微镜单个驱动臂和两个驱动臂的光学动态扫描模式。将仿真图形与双轴电热机械MEMS微镜动态扫描的实际情况进行对比,结果表明该模型有效仿真出双轴电热机械MEMS微镜的光学动态扫描模式。在对基于静电式MEMS微镜的控制研究中,首先对面结构光原理的进行分析,在理论可行的基础上进行整体系统方案的设计;然后完成硬件与软件的设计,主要包括对主控芯片模块与通信模块设计,嵌入式软件使用KEIL4开发环境,上位机软件采用C#语言编写;最后搭建实验平台,通过实验验证了深度摄像头小型化前期扫描投影阶段的可行性。